sem的优点和缺点是什么（sem的目的是什么）

1、扫描电镜分为场发射电镜和钨灯丝电镜，场发射电镜的分辨率远高于钨灯丝电镜，场发射分热场和冷场，共性是分辨率高，热场的束流大些，适合进行分析，但维护成本相对较高，维护要求高，2、工作温度：热场sem的钨灯丝需要加热到约2700K的高温，以保持稳定的电子发射，由于高温操作，钨灯丝在使用过程中会挥发，因